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為客戶提供研磨拋光整體解決方案
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碳化硅研磨液
鉆石粗磨液
1. 應(yīng)用領(lǐng)域
本產(chǎn)品主要用于碳化硅晶片的粗磨減薄。
2. 產(chǎn)品規(guī)格
| 產(chǎn)品類型 | 粒度規(guī)格 | 磨料類型 | 性質(zhì) |
| DPI-SiC | D50=2-4μm | 單晶金剛石 | 穩(wěn)定懸浮，水溶性載體 |
可根據(jù)客戶特殊要求進行定制。
3. 產(chǎn)品特點
(1)產(chǎn)品搭配鑄鐵盤使用能夠?qū)崿F(xiàn)材料高去除率的同時保證碳化硅晶片質(zhì)量（Warp值，翹曲度，TTV）；
(2)產(chǎn)品具有良好的防銹性能；
(3)產(chǎn)品對金剛石磨料懸浮性穩(wěn)定，長時間放置無明顯的沉降現(xiàn)象；
(4)嚴格的質(zhì)量控制，確保產(chǎn)品質(zhì)量的一致性和穩(wěn)定性。
鉆石精磨液
1. 應(yīng)用領(lǐng)域
本產(chǎn)品主要用于碳化硅晶片等的精磨拋光。
2. 產(chǎn)品規(guī)格
| 產(chǎn)品類型 | 粒度規(guī)格 | 磨料類型 | 性質(zhì) |
| DPP-SiC | D50=2-4μm | 多晶/類多晶 | 穩(wěn)定懸浮，水溶性載體 |
| D50=0-1μm | 多晶/類多晶 | 穩(wěn)定懸浮，水溶性載體 | |
| D50=0.2μm | 類多晶 | 穩(wěn)定懸浮，水溶性載體 |
可根據(jù)客戶特殊要求進行定制。
3. 產(chǎn)品特點
(1)產(chǎn)品搭配專門的碳化硅精磨墊使用達到高去除率，提升效率；
(2)精磨加工后的碳化硅晶片表面質(zhì)量高（粗糙度，劃傷，亞表面損傷層等參數(shù)）；
(3)水溶性載體配方，具有較好清洗性能；
(4)產(chǎn)品的懸浮穩(wěn)定性好；
(5)產(chǎn)品相較于常規(guī)的水基配方，潤滑性能更優(yōu)。
對我們提供的產(chǎn)品感興趣?
我們很高興與您分享我們的知識，并隨時歡迎您提出任何進一步的問題。
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